產品功能：

適用於各種高精密對位機構。模組本身薄、輕、穩的特色外，經調校之后，精准度更高，是XYθ進化版

產品應用：

精密產業設備、半導體設備、Wafe對位設備、PCB曝光設備、面板貼合機、晶粒印刷版設備

產品簡介	單位:	mm
上台面 下台面 高度 行程 動作角度 承載重量 本體重量	180x180 230x230 66.5 ±3 2° 水平最大30kg 5.2+2％kg
精度表現	單位:	μm
平面度	±20
重現精度	U級 S級 P級 H級 N級
	2    4     8     15   20